|
|
 |
|
|
|
|
|
|
| Detalji |
| Projekt: |
Novi amorfni i nanostrukturirani tankoslojni materijali |
| Voditelj: |
Nikola Radić |
| Ustanova: |
Institut "Ruđer Bošković", Zagreb |
| Sažetak: |
Termodinamički neravnotežnim postupcima kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije u uređaju sa 4 magnetrona pripraviti će se:
a) Amorfni tanki filmovi binarnih i ternarnih metalnih slitina visokotemperaturnih prijelaznih metala (Nb,Mo,Ta,W) sa metalima (Ag, ...), metaloidima (Al) i poluvodičima (Ge, ...). Cilj istraživanja je odrediti raspon sastava u kojem se realizira amorfna faza, utvrditi strukturu, fazni sastav, mehaničke i transportne osobine, termičku i kemijsku stabilnost sintetiziranih materijala, te istražiti potencijal za katalitičko i bioaktivno djelovanje odabranih slitina. Termička stabilnost ispitati će se izokronim i izotermnim zagrijavanjem, te korelirati sa modelima strukturnih transformacija.
b) Nanokristalni tanki filmovi čistih metala (Ni, Cu, ...) pripraviti će se magnetronskim rasprašenjem. Istražiti će se utjecaj primjesa u radnom plinu (kisik, ..) na strukturu/ nanokristalnost i termičku stabilnost pripravljenih filmova.
c) Nanolaminati/ Višeslojni filmovi s periodičnim ponavljanjem osnovnog dvosloja tipa prijelazni metal/ nemetal (W/C, Mo/Si i sl) pripraviti će se postupkom sekvencijalne depozicije. Očuvanje planarnosti i periodičnosti kroz cijelu debljinu filma je važno za njihove optičke osobine u XUV i rentgenskom valnom području. Višeslojni filmovi poluvodiča (Si, Ge) i podesnih izolatora (SiO2,..) pripraviti će se kao početni materijal za formiranje novih poluvodičkih nanostrukturnih materijala.
d) Nanokompoziti metalnih nitrida i karbida istraživati će se u cilju dobivanja tvrdih slojeva i triboloških presvlaka u kojima se sjedinjuju dobre osobine više različitih faza.
Pripravljeni filmovi ispitivati će se metodama nuklearne mikroanalize (RBS, ERDA) te metodama XRD, (GI)SAXS, optičke, AFM, SEM/TEM/HREM mikroskopije i Raman-spektroskopije za određivanje strukture, te kemijskog i faznog sastava. Mehaničke osobine karakterizirati će se mjerenjem nanotvrdoće, a električne mjerenjem temperaturne ovisnosti otpornosti i Hall efekta. Termička stabilnost utvrditi će se gore navedenim metodama na izokrono ili izotermalno grijanim ili laserski ozračenim uzorcima, a kemijska stabilnost elektrokemijskim metodama. Mjerenjem refleksivnosti ispitati će se optičke osobine u XUV i rentgenskom području. Kroz rezultate navedenih ispitivanja iskazati će se utjecaj parametara depozicije na osobine pripravljenih filmova i steći će se uvid u fizikalne procese i transformacije u amorfnim i nanostrukturnim materijalima. |
|
|
|
|
|
|
|
