|
|
 |
|
|
|
|
|
|
| Detalji |
| Projekt: |
Podatljivi uređaji ultra-visoke preciznosti za uporabu u mikro i nanotehnologiji |
| Voditelj: |
Saša Zelenika |
| Ustanova: |
Tehnički fakultet, Rijeka |
| Sažetak: |
Dostupne tehnologije manipulacije i montaže mikro i nanotehnologijskih uređaja sudjeluju sa 60-80% u ukupnoj cijeni proizvedenih mikro i nano uređaja pa tako imaju odlučujući utjecaj na proizvodnju istih. Eksperimentalni sustavi korišteni u znanosti o materijalima i na drugim znanstvenim područjima (kao npr. u razvoju poluvodičkih materijala) pri ispitivanjima na molekularnoj i atomskoj razini također se temelje na odgovarajućim sustavima pozicioniranja ultra-visokih preciznosti. Često je u takvim sustavima potrebno koristiti podatljive mehanizme integrirane s odgovarajućim pokretačkim i mjernim uređajima u mehatroničke sustave visokih i ultra-visokih preciznosti. Upotrebljivost rezultirajućih rješenja u navedenim primjenama je često, ipak, ograničena potrebom da se te konstrukcije koriste pri visokom i ultra-visokom vakuumu. Takvi radni uvjeti mogu biti popraćeni i zračenjem ili znatnom promjenom toplinskih uvjeta.
U predloženom projektu će se istražiti konstrukcije temeljene na podatljivim mehanizmima. Pomoću inovativnih eksperimentalnih sustava izvršit će se eksperimentalna ispitivanja utjecaja smanjenja izmjera na mehanička svojstva korištenih materijala. Analitičkim i numeričkim modeliranjem te naknadnim eksperimentalnim ispitivanjem odredit će se optimizirane konfiguracije temeljene na lisnatim oprugama ili mehanizmima s diskretiziranom podatljivošću. Posebna pažnja posvetit će se optimizaciji strukture konstrukcija tako da bi se dobilo što veće radno područje uz istovremeno zadržavanje karakterističnih visokih razlučivosti. Dinamički aspekti će također biti istraženi. Dobivene strojarske konstrukcije integrirat će se u optimizirane mehatroničke sustave pogodne za navedene radne primjene i uvjete.
Predviđa se da će razvijeni uređaji biti praktično verificirani u ekperimentalnim sustavima namijenjenim karakterizaciji na atomskoj razini poluvodičkih materijala. Kroz postojeću međunarodnu suradnju poticat će se transfer znanja, što će omogućiti korištenje, ali i unaprijeđenje umreženosti institucije. Poticat će se i kontakti s gospodarskim subjektima zainteresiranim za tržišnu promociju razvijenih rješenja. |
|
|
|
|
|
|
|
